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洁净室的测试及验收标准

【摘要】:
控制洁净室空气参数的目的——检查洁净室师傅符合给定的洁净度级别。无论是再投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。
 
 
在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:
    1、测试状态的确定
    2、空气中粒子的浓度
    3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)
    4、风量和换气次数
    5、最终过滤器的整体性
    6、空气温度和湿度
    7、洁净室的密闭性
    8、洁净室表面的洁净度
     测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他便准。
空气粒子浓度的检测
洁净度级别   
洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。   
空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。  
 在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。   
 所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度 
 
 ISON级             粒子最大允许浓度Cn颗m3,粒径≥下列值,微米 
                0.1         0.2         0.3       0.5      1.0     5.0                   
ISO 1级         10           2           -         -        -       -
ISO 2级         100          24          10        4        -       -
ISO 3级        1000          237         102       35       8       -
ISO 4级        10000         2370       1020      352       83      -
ISO 5级        100000        23700      10200     3520      832     29
ISO 6级        1000000       237000     102000    35200     8320    293
ISO 7级          -                                352000    83200   2930
ISO 8级          -                                3520000   832000  29300
ISO 9级          -                                35200000  8320000 293000
备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。
洁净度级别表示实例   
ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。   
ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。   
因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。
测定洁净度级别的方法   
在检测洁净室的洁净度级别时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。   
因此必须满足下列要求   
1)确认洁净室的状态与给定的相符;   
2)确定给定粒径,洁净室取样点的数量和位置;   
3)确定每一取样点的取样数量;   
4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间;   
5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计;   
6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下);   
7)整理取得的数据;   
8)对结果进行分析;   
9)整理方案确定级别应符合上表要求。
气流的检测 
在洁净室中的气流:
气流风速(通常是控制单向气流的风速)
气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。
空气(单向气流)的风速和风量   
空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。   
测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。   
应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。   
每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,最大和最小值。
气流的均匀性   
根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。   
平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。
检验过滤器的整体性   
最终过滤器(HEPA,ULPA过滤器)是洁净室的重要部分。这些过滤器安设在洁净室的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99。   
制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。
温度的检测   
在洁净室内采用两种方法控制温度:
一般控制
特殊控制   
(一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在洁净室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。   
规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。   
在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。
相对湿度的控制   
待通风空调系统工作稳定后,相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。   
至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳定,测量的持续时间不得少于6分钟。